给予行业“增持”评级。地缘政治影响下，我国半导体国产替代浪潮不可逆转。展望未来，我们将看到国产半导体设备厂商持续突破技术难点，不断提升国产份额。我们给予半导体设备行业“增持”评级。1）前道设备，推荐 CMP 环节华海清科、量检测环节中科飞测和精测电子。受益标的包括北方华创、中微公司、芯源微、拓荆科技、盛美上海、至纯科技、万业企业、微导纳米。2）后道设备：受益标的包括长川科技、华峰测控、金海通。3）其他环节：受益标的包括富创精密、新莱应材、晶升股份。

营收增速受周期影响放缓，规模效应带动下盈利能力持续提升。我们选取了 13 家半导体设备行业重点标的进行分析，并将其分成行业、前道、后道三个类型。1）收入端：2023H1 半导体行业、前道、后道分别实现收入 196.2/173.5/13.3 亿元，同比增速分别为+39.1%/+51.0%/-31.4%。行业整体呈现增长，但增速下滑。2）利润端：2023H1 半导体行业、前道、后道分别实现归母净利 43.68/40.31/2.26 亿元，同比增速分别为+70.0%/+115.3%/62%。行业整体呈现增长，增速略有下滑。3）盈利能力：2023H1 半导体行业、前道、后道毛利率分别为 46.5%/45.7%/58.9% ，同比 分 别 1.1pct/+0.8pct/-5.2pct；归母净利率分别为 20.3%/21.2%/23.1%，同比分别1.1pct/+8.4pct/-12.7pct。4）资产端：①2023H1 半导体行业、前道、后道存货分别为 375.5/342.7/23.1 亿元，同比增速分别为+54.6%/+55.5%/+30.0%。

行业整体存货呈现增长，增速环比下滑较大。②2023H1 半导体行业、前道、后道合同负债分别为 157.7/156.4/0.5 亿元，同比增速分别为 +39.3%/+40.5%/-59.7%。

行业投资逻辑简述：关注国产替代与资本开支两大主线。国内设备商业绩 =国产化率×市场空间，业绩增长核心动力源自国产化进程与资本开支。美日荷半导体设备出口限制持续收紧->国产设备加速验证->半导体设备国产替代有望加速。国家对半导体产业政策支持力度加大->加速国内设备研发进度->半导体设备国产替代有望加速。根据 SEMI 预测，2024 年全球半导体行业有望进入新一轮资本开支上升期。

催化剂：政策支持力度进一步加大，核心节点设备获得突破。

风险提示：设备国产化推进不及预期，半导体投资不及预期，核心零部件采购受阻，行业竞争加剧。